Keramiske underlagbrukes for tiden i kraftelektronikkmoduler, fordeler: høy mekanisk styrke, seighet og termisk ledningsevne
Silisiumnitrid har en høyere kostnad høyere enn aluminiumnitrid
substrat, og den termiske ledningsevnen er over 80 eller mer. Silisium brukes hovedsakelig på kraftelektronikkmodulen, for eksempel IGBT-moduler og bilstandardblokker, samt militære romfartsmoduler.
De
keramisk underlagbrukes hovedsakelig for høy mekanisk styrke og seighet. For tiden, fordi denne kraftmodulen er for stor, er den nødvendige kobbertykkelsen relativt høy (minst 500um eller mer). Fra nå vi har gjort, krever silisiumnitrid-oppfølgingsapplikasjonen at kobbertykkelsen også er lav (noen IGBT-moduler som krever høy strøm)